工業(yè)磷酸廠家帶你了解電子級(jí)磷酸檢測(cè)小知識(shí),高隆磷化工專業(yè)生產(chǎn)
五氧化二磷和
多聚磷酸等產(chǎn)品
，電子級(jí)磷酸屬于電子化學(xué)品檢測(cè)種類之一。在電子工業(yè)中
，尤其是超大規(guī)模集成電路
、大屏幕液晶顯示屏等微電子工業(yè)領(lǐng)域
，電子用磷酸可以用于清洗和蝕刻等工藝的加工?div id="jpandex" class="focus-wrap mb20 cf">？梢哉f說磷酸的純度
、質(zhì)量、指標(biāo)等都直接關(guān)系到電子生產(chǎn)企業(yè)的產(chǎn)品成品率
、電性能
、可靠性，或者是屏幕最后的質(zhì)量表現(xiàn)
。
一
、電子級(jí)磷酸用途分析
1、用于基片涂膠前的清洗
2
、用于光刻過程中的蝕刻及后去膠
；
3、用于硅片本身制作過程中的清洗及絕緣膜蝕刻
、半導(dǎo)體膜蝕刻
、 導(dǎo)體膜蝕刻、 有機(jī)材料蝕刻等
二
、電子級(jí)磷酸制備工藝
1
、用高純磷制備電子級(jí)磷酸的工藝
2、用高純?nèi)然字苽潆娮蛹?jí)磷酸的工藝
3
、用三氯氧磷制備電子級(jí)磷酸的工藝
三
、電子級(jí)磷酸提純工藝
化學(xué)沉淀法
有機(jī)溶劑萃取法
溶劑沉淀法
結(jié)晶法（冷凍結(jié)晶法
、熔融結(jié)晶法）
濃縮凈化法
離子交換法
電滲析法
四、電子級(jí)磷酸質(zhì)量等級(jí)
E1為普通電子級(jí)磷酸
E2為高純電子級(jí)磷酸
五
、電子級(jí)磷酸檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 28159-2011
電子級(jí)磷酸
六
、電子級(jí)磷酸檢測(cè)項(xiàng)目
1、磷酸質(zhì)量分?jǐn)?shù)檢測(cè)
2
、易氧化物質(zhì)量分?jǐn)?shù)檢測(cè)
3
、陰離子檢測(cè)項(xiàng)目：硝酸鹽含量、硫酸鹽含量
、氯化物含量
4
、金屬離子元素檢測(cè)項(xiàng)目：鋁、硼
、銻
、砷、鋇
、鎘
、鈣、鈷
、銅
、鎵、金
、鐵
、鉛、鋰
、鎂
、錳、家
、鎳
二
